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    自动椭圆偏振测厚仪

    简要描述:TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪
    仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。仪器采用PCI接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

    基础信息

    产品型号

    TPY-2

    厂商性质

    生产厂家

    更新时间

    2025-01-11

    浏览次数

    4267
    详细介绍
    品牌上海樱花草在线社区www韩国价格区间5万-10万
    产地类别国产应用领域综合

    TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪

    产品详细资料

    仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。
    仪器采用PCI接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

    TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪

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    TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪

    测量范围

    薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10

    偏振器方位角范围

    0°-180°读取分辨率为0.05°

    入射光波长

    650nm(半导体激光器)/ 632.8nm(氦氖激光器)。

    偏振器步进角

    0.014°/

    入射角调节范围

    20°- 90°精度≤0.05°

    测量膜厚

    ±0.5nm

    光学中心高

    80mm

    折射率重复性精度

    ±0.05

    测量厚度zui小示值

    ≤1nm

    仪器测量精度

    ±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)

    允许样品尺寸

    φ10-φ140mm,厚度≤15mm

    外形尺寸

    580×390×320(mm)

    度盘刻度

    每格1度

    主机重量

    28kg


    TPY-2实验主机、电控系统、PCI接口、二氧化硅膜样片、配套软件


    TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪



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